ASML新一代EUV曝光机有多耗电? 台积电、三星都逃不过碳排放问题

ASML新一代EUV曝光机有多耗电? 台积电、三星都逃不过碳排放问题

据彭博社报导,ASML新一代EUV每台耗电约1百万瓦,这对三星、台积电等晶片制造大厂,将会造成巨大的能源消耗问题。

台积电对能源高度依赖,2025年耗能估占的12.5%。 而世界仅此一家的EUV公司ASML,旗下新一代的EUV曝光机耗资高达1.5亿美元,包含10万个组件和长达2公里的布线。

EUV曝光机的进化,也代表更先进芯片的制造过程正变得复杂和能源密集。 ASML当前每台EUV的额定耗电量约为1百万瓦,约为前几代装置的10倍,但由于没有替代品来制造最先进的半导体,芯片行业可能成为减少全球碳排放的重要障碍。

台积电为业界拥有最多EUV曝光机的公司,公司目前已有超过80台EUV,新一代装置还在安装中。 预计到2025年,仅台积电一家公司就将占全整体能源消耗的12.5%,远高于2020年的6%。

对于芯片制造的能源消耗问题,环保组织绿色和平(Greenpeace)气候能源主任郑楚忻曾表示,缺电必然发生,其他行业将受其牵连。 比利时微电子研究中心(Imec)Lars-AkeRagnarsson指出,在使用高耗能装置的晶片厂,再生能源变得紧急且必要。

韩国芯片制造巨头三星也面临着类似的能源消耗问题。 三星在韩国拥有六个半导体制造基地,2021年占其功耗的3%。

对于这样的说法,台积电表示,公司持续改进半导体高阶制程技术,生产更先进、更具能源效率及更环保的产品,其还在积极投入绿色制造,落实节能减碳相关作为,包括致力优化制程能源使用效率,同时和机台装置商合作开发新的节能行动方案。

按照该公司引述2020年工研院产业科技国际策略发展所(ISTI)模型推导分析结果,称台积电每使用1度生产用电,能为全球减省4度电。

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